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薄膜的激光损伤与薄膜的微缺陷密切相关。微缺陷是薄膜激光损伤的主要原因。绝大多数激光损伤始于薄膜的缺陷点，并逐渐向外发展。因此，在系统的高通量运行中，光学元件表面留下的杂质污染物会产生杂质缺陷或涂层后节瘤缺陷，从而导致玻璃或涂层表面的高抛光损伤，降低光学元件的损伤阀值。此外，光学元件表面残留的有机污染物不仅表面残留的有机……